GebruikersverslagKabels voor de cleanroom, met meer dan 31 miljoen cycli per jaar

Volume Pattern Generator" systemen, kortweg VPG, van Heidelberg Instruments worden vooral gebruikt in de industriële massaproductie. Ze gebruiken UV-lasers om met hoge precisie en snelheid fotomaskers te genereren die dienen als sjablonen voor de productie van microchips, sensoren, LED's en MEMS (Micro-Electro-Mechanische Systemen). Andere mogelijke toepassingen voor VPG-systemen zijn het direct schrijven van microstructuren op wafers.

Naast extreem hoge precisie maken 24/7 werking en zeer korte cyclustijden per seconde deel uit van het eisenprofiel van de aandrijvingen in de systemen. Michael Kappel, hoofd Electrical Design: "Daarom ontwikkelen we veel kerncomponenten, waaronder luchtgelagerde XY-tafels, intern." Aangezien het belichtingsproces plaatsvindt onder cleanroomcondities, moeten de aandrijfcomponenten dienovereenkomstig worden geselecteerd. Dit geldt in het bijzonder voor de energie-, signaal- en mediatoevoerleidingen naar de XY-tafel. Zelfs de kleinste stofdeeltjes tasten de kwaliteit van de belichting aan. Een andere vereiste is minstens zo belangrijk. Kappel: "Zelfs de kleinste verstoring in de loop van de energietoevoer moet worden vermeden, omdat dit de precisie van de belichting vermindert."

Tijdens dit ontwikkelingsproject presenteerde igus® de e-skin® flat: een nieuw kabeldraagconcept dat de voorheen gebruikte kettingen overbodig maakt. In plaats daarvan worden de kabels en slangen geleid in platte profielen - zogenaamde pods - die naar wens afzonderlijk kunnen worden geopend en gesloten. Dit compacte systeem maakt een zeer kleine buigradius mogelijk en is bestand tegen slijtage en schuren tijdens het verplaatsen, ook omdat er geen kettingschakels zijn die elkaar raken. Dit betekent dat het kan worden gebruikt in cleanrooms - zelfs in meerdere lagen - zoals is bevestigd door tests die zijn uitgevoerd door het Fraunhofer IPA. De innovatie kwam op het juiste moment: de ontwerpingenieurs in Heidelberg bouwden een demonstrator voor duurtesten met de nieuwe energievoorziening, die nu 120 miljoen cycli met ISO 1 heeft doorlopen in het igus® testlaboratorium. De kabel doorstond de test tot volle tevredenheid van de gebruiker. igus® voerde de laatste aanpassingen uit aan de bevestigingselementen - en het nieuwe energievoorzieningssysteem voor de "kleine" VPG en ULTRA systemen was compleet.

Deze oplossing is nu een goed jaar in gebruik en heeft zich in de praktijk bewezen, zelfs in zeer dynamische toepassingen met cyclustijden van ongeveer één seconde - dat zijn meer dan 31 miljoen cycli per jaar. Heidelberg Instruments gebruikt hoogwaardige igus® chainflex® kabels met een slijtvaste TPE-mantel.