drylin® cleanroom-compatibiliteit, ESD-compatibiliteit en RoHS

IPA-getest apparaat
De geteste drylin® geleidingen laten duidelijk zien dat ze geschikt zijn voor cleanrooms. Het verschil tussen de diverse cleanroom-klassen is alleen afhankelijk van de belasting en de snelheid van de toepassing. De combinatie iglidur® J op geanodiseerd en hard geanodiseerd aluminium heeft "Niveau 1" in de ESD-compatibiliteit overeenkomstig SEMI E78-0998 (beste score).
 
Alle drylin® lineaire geleidingsystemen zijn ontworpen voor drooglopend gebruik en zijn ook getest onder deze omstandigheden. Er werden geen oliën of vetten gebruikt als aanvullende smeermiddelen.
De volgende drylin®-geleidingen van igus® zijn getest: N40, W10, T25 en T30.

NK-02-40-02 drylin® lineaire geleidingsystemen

"Voor het lineaire geleidesysteem drylin® NK-02-40-02 van igus® B.V., is het mogelijk, op basis van de berekeningen voor de kans op het overschrijden van de drempelwaarden van detectiegrootte 0,2 μm, 0,3 μm, 0,5 μm en 5 μm met een bewegingssnelheid van v =1 m/s, om duidelijke geschiktheid voor cleanrooms geclassificeerd als ISO klasse 6 overeenkomstig DIN EN ISO 14644-1 te behalen." 
De meetresultaten van de ESD-compatibiliteit overeenkomstig SEMI E78-0998 laten zien dat het lineaire geleidesysteem drylin® NK-02-40-02 kan worden geclassificeerd als "niveau 1" (hoogste niveau). Fraunhofer IPA-rapport nr.: IG 0308-295 73

drylin® TK-01-30-01 lineair geleidesysteem

"Voor het lineair geleidesysteem drylin® TK-01-30-01 van igus® B.V., is het mogelijk, op basis van de berekeningen voor de kans op het overschrijden van de drempelwaarden van detectiegrootte 0,2 μm, 0,3 μm, 0,5 μm en 5 μm met een bewegingssnelheid v = 0,1 m/s, om duidelijke geschiktheid voor cleanrooms geclassificeerd als ISO klasse 3 overeenkomstig DIN EN ISO 14644-1 te behalen." 

drylin® TK-01-25-02 lineair geleidesysteem

"Voor het lineair geleidesysteem drylin® TK-01-25-02 van igus® B.V., is het mogelijk, op basis van de berekeningen voor de kans op het overschrijden van de drempelwaarden van detectiegrootte 0,2 μm, 0,3 μm, 0,5 μm en 5 μm met een bewegingssnelheid v = 1 m/s, om duidelijke geschiktheid voor cleanrooms geclassificeerd als ISO klasse 5 overeenkomstig DIN EN ISO 14644-1 te behalen." 
De meetresultaten van de ESD-compatibiliteit overeenkomstig SEMI E78-0998 laten zien dat het lineaire geleidesysteem drylin® TK-01-25-02 kan worden geclassificeerd als "niveau 1" (hoogste niveau).

WK-10-40-15-01 drylin® lineair geleidingssysteem

"Voor het lineaire geleidesysteem drylin® WK-10-40-15-01 van igus® B.V., is het mogelijk, op basis van de berekeningen voor de kans op het overschrijden van de drempelwaarden van de detectiegroottes 0,2 μm, 0,3 μm, 0,5 μm en 5 μm met een bewegingssnelheid v = 1 m/s, om duidelijke geschiktheid voor cleanrooms geclassificeerd als ISO klasse 6 overeenkomstig DIN EN ISO 14644-1 te behalen." De meetresultaten van de ESD-compatibiliteit overeenkomstig SEMI E78-0998 laten zien dat het lineaire geleidesysteem drylin® WK-10-40-15-01 kan worden geclassificeerd als "niveau 1" (hoogste niveau). Zie het Fraunhofer IPA rapport nr.: IG 0308-295 74

drylin® NK-02-40-02

Meting van slijtdeeltjes

drylin® TK-01-25-02

Meting van slijtdeeltjes

drylin WK-10-40-15-01

Meting van slijtdeeltjes

Meer informatie