EN ISO 14644: standaard voor het bepalen van de cleanroom classificatie
EN ISO 14644 (in Duitsland DIN EN ISO 14644) is een internationaal geldige standaard voor cleanrooms en cleanroom-zones. Met behulp van de standaard is het mogelijk de kamers in cleanroom-klassen in te delen (ISO 1-9). De standaard houdt ook rekening met aspecten die betrekking hebben op de planning, het gebruik en besturing van cleanroom-faciliteiten.
Oorspronkelijk ontwikkeld in de halfgeleider-industrie, heeft de EN ISO 14644 de oude US FED STD 209E standaard in 2001 vervangen. En ondertussen heeft het zichzelf gevestigd in talloze sectoren – waaronder lucht- en ruimtevaart, optica, farmacie, voeding, medische techniek en gezondheidszorg.
Om cleanrooms in cleanroom-klassen in te delen, richt EN ISO 14644 zich op de concentratie van deeltjes in de lucht. De standaard zet limieten voor de maximaal toegestane deeltjesconcentratie per kubieke meter lucht. En kent de mate van zuiverheid toe aan cleanroom-klassen ISO 1-9. Zo krijgen ISO klasse 1 cleanrooms hun hoogste mate van zuiverheid. Voor dit doel mag een maximum van tien deeltjes met een maximale grootte van 0,1 micrometer aanwezig zijn in een kubieke meter lucht.
Om de concentratie op een uniforme wijze te bepalen, specificeert de standaard niet alleen limieten voor het aantal deeltjes maar ook erkende testmethoden. Moderne deeltjesmeetinstrumenten zijn vaak uitgerust met een laserdiode voor de meest nauwkeurige meting. Een tabel toont het minimum aantal meetpunten per gebied. De ruimte voldoet aan de vereisten wanneer de gemiddelde waarde van elk meetpunt niet de grenswaarden overschrijdt.